洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳湿度范围为35—45%。
气压规定
对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:
1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
洁净室中的气流速度规定
这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度,在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。
对于乱流洁净室 由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求;
(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。
(2)吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。
对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室),由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gB标准,采用0.45m/s.但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的,为了节能,也都在探求降低风速的可行性。
在我国,《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范)都是这样规定的
垂直平行流(层流)洁净室≥0.25m/s
水平平行流(层流)洁净室≥0.35 m/s
噪声控制
洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准,目的在于保障操作正常进行,满足必要的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是:
1.烦恼的效应
由于噪声,使人感到不安宁而产生烦恼情绪,一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹,比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和极吵闹者,即为高烦恼,高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率。
2.对工作效率的影响
这主要看三方面的反应水平,这三个方面是:集中精神,动作准确性,工作速度;
3.对综合通讯的干扰
这主要分为:清楚或满意,稍困难,困难,不可能
对以上三方面指标都用A声级来评价。在50年代曾提出用一条频谱曲线作为评价标准即各频带中心频率的声压级不得超过该曲线。后来了解到刷A等级来计量噪声与噪声的语音干扰和烦恼程度更为台适,可以代替倍频带声压级作为评价标准的指标。

洁净实验室设计基本思路为实用。净化要求级别为万级。实验室设计有一更、二更、风淋和缓冲等实验前的准备工作。采用人流、物流分开原则,以减少实验污染,保证安全。
1、洁净实验室布置紧凑、合理,以满足实验室操作和空气洁净度等级要求,同时力求科学性与经济性的原则,考虑实验室要求和发展及运行费用优。
2、洁净实验室入口处设置风淋室,能有效清除人体所带灰尘,减少洁净实验室的灰尘量,同时风淋室也起到了气闸的作用,防止不洁净空气由门进入洁净区。
3、洁净实验室需向室内供给一定比例的新鲜空气,净化过滤后进入各实验室以补偿排风,保证正压及工作人员需要

基于P4实验室的危害程度,P4实验室建设与管理必须满足以下要求:
一、P4实验室内必须严格设置安全防护防范措施。
在P4实验室中处理这类生物危害病原体时必须且具强制性地使用独立供氧的正压防护衣。生物实验室的四个出入口将配置多个淋浴设备、真空室与紫外线光室,及其能摧毁所有的生物危害的痕迹安全防范措施。
二、P4实验室空气与水的供给要严格按要求消毒处理。
在P4实验室中处理这类生物危害病原体时必须且具强制性地使用独立供氧的正压防护衣。生物实验室的四个出入口将配置多个淋浴设备、真空室与紫外线光室,及其能摧毁所有的生物危害的痕迹安全防范措施。
P4实验室中所有的空气和水的供给,均要经过生物安全4级(或P4)实验室所要求的消毒程序,并达到同级别要求,以消除意外释放的可能性。在P4实验过程中发现当一个病原体被怀疑或可能有抗防护实验室药性时都必须在BSL-4实验室进行处理,直到有足够的数据得到确认必须在此规格实验室持续工作,或移交至一个较低水平的实验室。
三、P4工作人员的素质培训一定要达到专业级别并有归口科学家进行监管指导。
P4实验室的工作人员必须对于他们在处理极其危险的传染性有具体和深入的培训并且理解的标准和特殊的措施、抑制配备与设计特色。工作人员均需受过专业训练与实地处理这些病原体的合格专业人士,并有相应科学家的监督。P4实验室的出入受到实验室主管部门或主管人员的严格控制。
四、P4实验室的选址一定要达到危害控制的要求。
P4实验室必须是在一个单独的建筑物或在控制区域内的建筑物,且与该区域内其他建筑物隔离。且P4实验室必须建立防止污染的协议经常使用负加压设被并准备或采用一个特定设备操作手册,如此一来即使实验室受到损害,会严重抑制透过气溶胶传播之病原体的爆发,而工作领域内的所有活动只限于III级生物安全柜,或II级生物安全柜一且只有配有生命支持系统与正压通风的人才能使用。
P4实验室是生物安全实验中要求严格的实验场所,也是生物科目类研究、试验等学术工作中高防护级别的实验室。P4实验室是生物安全研究水平级别的实验室。因此,在设计、规划、建设、施工时一定要严格遵守标准及使用管理部门的要求进行!

实验室主要用于初级卫生服务、诊断和研究,其实验对象的危害等级为Ⅱ级(中等个体危害,有限群体危害),具体定义为“能引起人类 或动物发病,但一般情况下对健康工作者、群体、家畜或环境不会引起严重危害的病源体。实验室感染不导致严重疾病,具备有效缓解和 预防措施,并且传播风险有限”。据此,待颁布的国标《生物安全实验室建筑技术规范对 BLS-2实验室规定了以下技术指标(静态):
1、洁净度:无要求
2、压差:阶梯压差
3、与室外方向相邻相通房间的压差:无要求
4、温度℃:18~27
5、相对湿度%:30~70
6、噪声dB(A):≤60
7、低照度lx:300
上诉指标是建立P2实验室的低要求,建设者可根据实际需要
适当提高相应指标,如洁净度、压差等。
建筑、结构和装修要求
现在BLS-2实验室大多数是在原有建筑物内进行改建,不同于新建的P2实验室(国标中,要求新建P2实验室宜离开公共场所一段距离),在与相邻其他房间之间,存在着一个相对隔离问题。所以在原有建筑物中改建P2实验室,应重点注意以下几个问题。
1、在共用建筑物中建P2实验室,应设可自动关闭的带锁的门,必要时,可设立缓冲区域,如缓冲间等。
2 、如果没有机械通风系统,应有窗户进行自然通风,并应有防虫纱窗。(一般情况下,应有机械通风系统,否则,温湿度指标难以保证) 。
3、应有防昆虫、鼠等动物进入和外逃的措施。
空调、通风和净化
为满足P2 实验室温湿度要求,宜配备机械空调通风系统,有特殊要求的可增设设计要求,如增设净化要求并按净化要求进行送回(排)风系统设计 等。这方面,应重点处理好以下几个问题:
1、可以采用带循环风的空调系统。如果涉及化学溶媒,感染性材料操作和动物实验,则应采用全排风系统。
2、生物安全柜与排风系统连接
I级 排风比例100%,密闭连接。
II级 A型 排风比例30%,可排到房间或设置局部排风罩。
B1型 排风比例70%,密闭连接。
B2型 排风比例100%,密闭连接。
3 、实验室内各种设备的位置应有利于气流由“清洁”空间向“污染”空间流动,大限度减少室内回流与漏流(生物安全柜一般应置于室 内气流下游,即远离送风口处)。
生物安全柜的排风不能代替室内排风。
排水
含菌污水应经高温高压消毒或化学消毒后排放至市政污水排放公用系统
电气设置
1、应设配电箱。
2、电源宜设置漏电检测报警装置。
3、应有可靠的接电系统,其接地电阻不宜大于1Ω。
4、实验室入口应有实验室工作状态的文字式灯光讯号显示。
5、应设紧急发光疏散指示标志。
消防
建筑物耐火等级不低于二级
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